正確な紫外線スペクトルの実現
私たちは単にランプを作っているだけではありません。エネルギーを正確に制御することが私たちの仕事です。 最近、大きな変化が見られます。人々はもはや「何か紫外線があればいい」というわけではなく、極めて高い精度が求められています。問題は、市販されているランプのほとんどが不純物を含んでいて、望ましくないスペクトルが混入してしまうことです。これは、特定の分子をターゲットにして処理を行う際に、基板が溶けてしまう原因となります。
波長制御のコツ
もし、例えば253.7nmという正確な波長で紫外線を出力したいのであれば、それはガスの組成とクォーツの品質という2つの要素にかかっています。 私たちは高純度の合成クォーツを使用しています。なぜかというと、安価なガラスでは、紫外線が管から出る前に吸収されてしまうからです。クォーツの品質が悪ければ、発生したエネルギーの20％が無駄に熱として失われてしまいます。 また、アーク管内の圧力も重要です。スペクトル線を安定させることで、ランプが時間が経つにつれて性能が低下するのを防ぎます。そうすれば、波長も一定に保たれます。
熱対策
ここにトレードオフがあります。より多くのワット数を狭い空間に詰め込むと、すぐに高温になります。 強力なUV-C光が得られますが、同時に熱も増加します。この場合、冷却ファンや水冷装置をしっかり利用する必要があります。空気の流れが悪くなると、クォーツが歪んでしまいます。そうなると波長が変わり、全体のプロセスが台無しになってしまいます。 ランプの端が壊れるのを防ぐために、特別な電極を使用しています。これにより、ランプの寿命が延びます。
なぜこれが重要なのか
半導体リソグラフィーや医療用滅菌など、重要な分野でも同じことが言えます。 そうした分野では、「十分に近ければいい」というわけにはいきません。正確なナノメートル値に調整されていないランプを使うと、未硬化の部品や表面の損傷が生じてしまいます。 私たちは厳格な精度でランプを製造しているので、10,000時間以上使っても問題ありません。波長が一定に保たれていれば、生産効率も高く保たれます。それだけです。