ホットカソードUV殺菌ランプ

ウェーハダイシングラインにおいて、ボトルネックとなるのはしばしばソー自体ではなく、デボンディング工程である。ダイフレームを固定するUVフィルムは、迅速かつクリーンに、かつダイに熱衝撃を与えずに剥がす必要がある。UV光源が適切な波長で安定かつ再現性のある線量を供給できなければ、残留粘着、エッジプル、...