고온 음극 자외선 살균 램프

웨이퍼 다이싱 라인에서 병목 현상은 종종 톱 자체가 아니라 디본딩 단계에 있다. 다이 프레임을 고정하는 UV 필름은 빠르고 깨끗하게, 그리고 다이에 열충격 없이 제거되어야 한다. UV 광원이 적절한 파장에서 안정적이고 반복 가능한 조사량을 제공하지 못하면 잔류 점착,...