热阴极紫外线杀菌灯

在晶圆切割线上，瓶颈往往出现在脱胶步骤，而非切割机本身。用于固定芯片框架的紫外线（UV）膜必须快速、干净地剥离，且不能对芯片造成热冲击。如果UV光源无法在正确波长下提供稳定、可重复的剂量，就会出现残留粘性、边缘拉扯，甚至更严重的微裂纹，导致高价值芯片报废。 用于工业环境的热阴极UV杀菌灯为高通量...